CMOSMEMS面临的挑战和未来发展趋势分析.pdf

今天的微机电系统（MEMS）与硅集成电路（IC）的构建方式大致相同，借鉴了IC行业的各种材料和工艺。因此，这并不奇怪。从三十多年前的MEMS早期开始，研究人员就已经开始将微电子机械设备与双极或CMOS电路相结合。CMOS集成MEMS领域或简称CMOS-MEMS领域的研究和开发工作面临的挑战，成就和前景是本书的主题。CMOS技术和微机械加工技术结合起来制造了广泛的微系统，范围从物理传感器，例如压力和惯性传感器，到化学和生化传感系统。