论文研究氮化镓(GaN)功率集成技术 .pdf

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氮化镓（GaN）功率集成技术，陈万军，周琦，提出一种基于氮化镓（GaN）的功率集成技术,通过该工艺技术,能够单片集成功率集成电路所需的功率模块以及控制单元所需的各种低压��