子孔径拼接干涉检测光学平面方法的研究

上传：yuanxiaowu 浏览： 17 推荐： 0 文件：PDF 大小：735.66KB 上传时间：2020-02-27 01:27:07 版权申诉

子孔径拼接干涉检测光学平面方法的研究，田义，李洪玉，建立了合适的拼接模型，讨论了子孔径拼接中的去倾斜模型，充分利用Matlab软件强大的矩阵运算能力和与Zygo干涉仪匹配的MetroPro软件处�