基于微纳结构电极的超级电容器研究

上传：jlx31693 浏览： 25 推荐： 0 文件：PDF 大小：638.72KB 上传时间：2020-02-29 12:00:57 版权申诉

基于微纳结构电极的超级电容器研究，王晓峰，尤政，微型超级电容器是一种基于MEMS微加工工艺和电化学赝电容原理的微型储能器件。通过光刻、感应耦合等离子体刻蚀（ICP）和溅射等MEMS微�