首页 下载 编程语言 其他 下载详情 论文研究大功率LED用SiC衬底刻蚀研究 .pdf 上传:wsrwsrriri 浏览: 20 推荐: 0 文件:PDF 大小:1.36MB 上传时间:2020-03-18 20:31:54 版权申诉 大功率LED用SiC衬底刻蚀研究,衣振州,申人升,本文采用感应耦合等离子体(ICP)设备,以SF6与02作为刻蚀气体,系统研究了大功率发光二极管(LED)用碳化硅(SiC)衬底刻蚀的工艺参数 立即下载 上传资源 微信扫一扫 用户评论 提交评论