论文研究基于Labview的伺服调焦控制系统 .pdf

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基于Labview的伺服调焦控制系统，刘洋，熊木地，精密调焦伺服控制系统属于激光直写设备中的关键技术之一。而在激光直写设备中需要有高分辨力的调焦伺服机构对光刻物镜进行调焦伺