首页 下载 编程语言 其他 下载详情 论文研究基于Labview的伺服调焦控制系统 .pdf 上传:xin9707635 浏览: 13 推荐: 0 文件:PDF 大小:379.45KB 上传时间:2020-05-23 07:56:56 版权申诉 基于Labview的伺服调焦控制系统,刘洋,熊木地,精密调焦伺服控制系统属于激光直写设备中的关键技术之一。而在激光直写设备中需要有高分辨力的调焦伺服机构对光刻物镜进行调焦伺 立即下载 上传资源 微信扫一扫 用户评论 提交评论