Dynamic analysis of mechanical model for threedimensional resonant trigger probe

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三维谐振触发测头的力学模型动态分析及实验，余惠娟，黄强先，三维谐振触发测头是利用具有高谐振特性的力敏元件与一体化微测杆测球构建的新型测头。本文提出了该种测头与试样表面纳米接触时的