平面光波导器件及应用分析.pdf

上传:zzhhrz 浏览: 16 推荐: 0 文件:PDF 大小:168.93KB 上传时间:2020-06-15 12:09:03 版权申诉
分析了平面光波导器件的关键技术及其应用情况.介绍了平面光波导器件的几种不同种类,包括硅基体沉积二氧化硅光波导,铌酸锂镀金

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