铜沾污对定向凝固多晶硅电学性能的影响

铜沾污对定向凝固多晶硅电学性能的影响，李娇，陈秀华，通过对定向凝固提纯的多晶硅中引入铜杂质，然后使用四探针测试仪和微波光电导衰减测试仪，分别对多晶硅在不同条件下铜沾污前后的