硅烷等离子体中尘埃微粒流体模型的研究进展

硅烷等离子体中尘埃微粒流体模型的研究进展，庄娟，，控制硅烷等离子体中纳米粒子的产生和生长，可以有效的控制薄膜的沉积速度和质量，为此研究人员建立了流体模型并与粒子生长基制和