首页 下载 移动开发 其他 下载详情 硅烷等离子体中尘埃微粒流体模型的研究进展 上传:wangfyan 浏览: 12 推荐: 0 文件:PDF 大小:433.96KB 上传时间:2020-07-17 00:13:54 版权申诉 硅烷等离子体中尘埃微粒流体模型的研究进展,庄娟,,控制硅烷等离子体中纳米粒子的产生和生长,可以有效的控制薄膜的沉积速度和质量,为此研究人员建立了流体模型并与粒子生长基制和 立即下载 上传资源 微信扫一扫 用户评论 提交评论