热处理对TiSixNy超硬涂层结构和力学性能的影响

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热处理对TiSixNy超硬涂层结构和力学性能的影响，陆永浩，王俊平，本文采用四靶（2个Ti靶和2个Si靶）非平衡磁控溅射沉积工艺，在氮氩混合气氛和550℃基体温度下，通过调节硅靶溅射电流在M42钢基体上沉