首页 下载 移动开发 其他 下载详情 热处理对TiSixNy超硬涂层结构和力学性能的影响 上传:87281 浏览: 14 推荐: 0 文件:PDF 大小:600.64KB 上传时间:2020-07-17 07:40:39 版权申诉 热处理对TiSixNy超硬涂层结构和力学性能的影响,陆永浩,王俊平,本文采用四靶(2个Ti靶和2个Si靶)非平衡磁控溅射沉积工艺,在氮氩混合气氛和550℃基体温度下,通过调节硅靶溅射电流在M42钢基体上沉 立即下载 上传资源 微信扫一扫 用户评论 提交评论