氢气对化学气相沉积热解炭的影响

上传：qinliyi95610 浏览： 14 推荐： 0 文件：PDF 大小：1.03MB 上传时间：2020-07-17 11:00:21 版权申诉

氢气对化学气相沉积热解炭的影响，樊哲琼，谭瑞轩，为了研究氢气载气对化学气相沉积微环境的影响，自行设计了化学气相沉积炉并在温度为900℃,体积比为1：10丙烯/载气条件下，载气分别�