论文研究 ZnO薄膜晶体管的制备及电学特性表征 .pdf

ZnO薄膜晶体管的制备及电学特性表征，张贺秋，胡礼中，ZnO薄膜作为宽禁带的半导体材料，其迁移率较高，在可见光区具有高透射率，低的光灵敏度，使其适于制备ZnO薄膜晶体管，并在平面显示