硅基反铁电湿法刻蚀工艺研究

上传：麦克·唐浏览： 24 推荐： 0 文件：DOC 大小：14.82MB 上传时间：2020-07-17 20:31:50 版权申诉

介绍了一种基于硅基的反铁电材料的湿法刻蚀工艺研究