基于白光三维表面形貌测量的研究

基于白光三维表面形貌测量的研究，刘泊，张琳，本文介绍了研究微观表面三维形貌的意义，阐述了表面三维形貌测量方法，针对白光相移干涉术的核心问题，对相位提取算法进行深入的