紫外激光辐照对非晶IZO薄膜电学性质影响

上传：liuyuhuaone 浏览： 18 推荐： 0 文件：PDF 大小：639.43KB 上传时间：2020-07-19 01:10:17 版权申诉

紫外激光辐照对非晶IZO薄膜电学性质影响，夏鹏，马剑钢，本文采用溶胶-凝胶法，结合深紫外激光辐照处理，在石英玻璃衬底上制备了非晶铟锌氧（IZO）透明导电薄膜。通过X射线衍射仪、紫外-可