依赖晶体取向的蓝宝石湿法刻蚀特性研究

上传：qq_68599 浏览： 19 推荐： 0 文件：PDF 大小：1.02MB 上传时间：2020-07-19 10:23:35 版权申诉

依赖晶体取向的蓝宝石湿法刻蚀特性研究，郭志越，幸研，本文基于球形样品研究了单晶蓝宝石材料在浓硫酸与磷酸混合溶液中的各向异性湿法刻蚀特性。通过测量半球样品刻蚀前后表面坐标点的