论文研究 铜和氮共掺杂对等离子体氮化铜掺杂氧化钛薄膜可见光响应光催化的影响

为了阐明Cu和N原子共掺杂的TiO2的可见光响应光催化作用，对Cu掺杂的TiO2薄膜进行了等离子体氮化。 采用浸涂法制备了掺杂Cu的TiO2薄膜，并在等离子体增强CVD系统中用氮等离子体将其氮化。 等离子体氮化前后的掺杂Cu的TiO2薄膜显示出类似的锐钛矿型TiO2 X射线衍射峰。 XPS分析表明，掺杂Cu的TiO2薄膜中Ti和Cu的离子态分别为Ti4 +和Cu +。 在氮等离子体处理之后，通过取代TiO2基体中的氮原子释放了氧原子，因此Cu +被氧化生成Cu2 +，同时形成了氧空位。 铜掺杂和等离子氮化铜掺杂的TiO2的吸收边均发生红移。 氮等离子体处理后，Cu掺杂的TiO2薄膜的可见光响应