矩形衍射光栅的结构参数偏差对衍射场分布的影响

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矩形衍射光栅的结构参数偏差对衍射场分布的影响，敬嘉雷，陆振刚，矩形衍射光栅的结构参数决定其衍射场分布，而实际光栅结构参数的加工误差将导致光栅的衍射场分布偏离预期。为了给矩形光栅结构参