多晶硅生产工艺现状与未来发展趋势

上传:lv85131xc 浏览: 18 推荐: 0 文件:PDF 大小:81KB 上传时间:2020-08-09 09:39:50 版权申诉
改良西门子法因为产品纯度高、生产成本低,可以满足大规模、安全、环保生产要求,成为市场首选的主流工艺。从成本角度比较,瓦克和REC的成本已经基本接近,显示出该技术具备旺盛的生命力。下面介绍一下几种主要的多晶硅的生产方法。
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