TFT液晶制造制程技术革新讲解

TFT液晶面板的制造工程一般被分为3个部分。最初的工程被称为TFT Array制程,在玻璃基板上置入薄膜晶体管和驱动所需的电路。这个工程需要重复上光阻、微影、蚀刻,才能在玻璃基本上形成Array电路。这种微影、蚀刻重复的次数一般被称为“光罩数”。