基于MEMS惯性传感器的加速度测量无线传输系统设计

上传：songhang78915 浏览： 17 推荐： 0 文件：PDF 大小：274.72KB 上传时间：2020-08-31 23:21:53 版权申诉

微电子与微机械(MEMS)技术的发展,使现代传感器设计向微型化、智能化、集成化、微低功耗方向发展。MEMS技术突破了传统传感器设计受质量、体积、功耗等技术瓶颈的束缚,在各测量领域有着非常广泛的应用。