EDA/PLD中的PLD技术在功能薄膜材料研究中的应用

摘要:薄膜材料已在半导体材料、超导材料、生物材料、微电子元件等方面得到广泛应用。为了得到高质量的薄膜材料,脉冲激光沉积技术受到了广泛的关注。本文介绍了脉冲激光沉积(PLD)薄膜技术的原理及特点,分析了脉冲激光沉积技术在功能薄膜材料中的应用和研究现状,并展望了该技术的应用前景。 关键词:脉冲激光沉积(PLD) 功能薄膜应用研究现状 一、前言 脉冲激光沉积(Pulsed Laser Deposition,简称PLD)是新近发展起来的一项技术,继20世纪80年代末成功地制备出高临界温度的超导薄膜之后,它独特的优点和潜力逐渐被人们认识和重视。该项技术在生成复杂