首页 下载 存储 Microsoft 下载详情 石英振荡器与MEMS结合的时钟器件方案 上传:mmmiiikkkeee 浏览: 10 推荐: 0 文件:PDF 大小:45.16KB 上传时间:2020-10-28 05:51:45 版权申诉 瑞士电子与微技术中心(CSEM)等的研究小组在“ISSCC 2013”上发表了将石英振荡器与硅基MEMS技术(硅晶圆级封装技术)结合的时钟器件论文(演讲编号:11.3)。该方案利用硅基MEMS技术真空封装石英振荡器。 立即下载 上传资源 微信扫一扫 用户评论 提交评论