微机电系统(MEMS) 简述

微机械电子系统是微电子技术的拓宽和延伸,它是将微电子技术和精密机械加工技术相互融合,并将微电子与机械融为一体的系统。MEMS将电子系统和外部世界有机地联系起来,它不仅能感受运动、光、声、热、磁等自然界的外部信号,使之转换成电子系统可以识别的电信号,而且还能通过电子系统控制这些信号,进而发出指令,控制执行部件完成所需的操作。