纳米测量技术与微型智能仪器

上传：daisy17132 浏览： 11 推荐： 0 文件：PDF 大小：118KB 上传时间：2020-10-28 06:46:57 版权申诉

纳米测量技术指尺度为0.01nm~100nm的测量技术。在纳米技术中,纳米测量技术、纳米加工技术和纳米结构并列为纳米技术的三大研究主题。纳米测量技术的研究是纳米技术研究的重要组成部分。