传感技术中的基于电容检测芯片的电容检测系统设计

摘要:针对电容式传感器研发过程中缺乏有效的微小电容检测仪器的问题,设计了一种基于电容检测芯片MS31lO的电容式传感器检测系统,给出了系统的硬件设计以及单片机和上位机部分的软件设计,并对系统的检测精度进行了测试。结果证明,该系统具有较高的检测精度。 引言 电容式传感器一般是将被测量的变化量转换为电容量的变化。目前,基于这种原理的各种类型的传感器已在测量加速度、液位、几何孔径等方面得到了广泛的应用。但以电容为变化量的传感器(尤其是MEMS传感器),其电容变化范同往往只有几个pF,甚至几个fF。这便对电容检测的精度提出了很高的要求,尤其是在传感器的研发过程中,往往需要极高精度的电容检测