电子测量中的基于EPA的光栅位移测量系统

引 言 目前,国内研究和开发数控定位装置的单位都在研制各种经济型的工作台产品,一般定位精度为1 μm、5 μm、10 μm。工作台的结构布局、位移量的大小、测量速度等都越来越趋于灵活,自动化程度也越来越高,但是这些工作台大多数都是单机监控的分散结构,有些是通过RS485、现场总线、PLC等把设备连接在一起,构成简单的DCS或FCS网络测量系统。利用这些方法构成的系统具有成本高、测量范围小、速度低、不稳定和支持应用有限等缺陷,因而其发展受到了极大的限制。相反,工业以太网以其统一的TCP/IP协议和CSMA/CD多路访问方式使其得到了迅猛发展,以太网不仅具有廉价、高速、简易、方便的特性,而且