电子测量中的MEMS技术在非制冷红外探测器中的应用

MEMS技术在非制冷红外探测器中的应用 阳启明, 张剑铭,杨道虹,徐晨,沈光地(北京工业大学电子信息与控制工程学院) 1 引言微电子机械系统(MEMS)技术作为一项新兴的微细加工技术,已开始在各领域应用。它可将信息获取、处理和执行等功能集成,具有微小、智能、可执行、可集成、工艺兼容性好、成本低等优点,在红外探测技术领域也有非常广泛的应用前景,将为该领域的研究提供一条更新的途径。将MEMS技术用于非制冷红外探测器的研制能够使器件向高可靠性、微型化、智能化、高密度阵列集成和低成本、可批量生产等方向发展,并有可能利用该技术制造出具有全新机理的非制冷红外探测器。红外探测器是红外仪器中最基本的关键部