微尺度热传导理论及金属薄膜的短脉冲激光加热

王秋军,徐红玉,宋亚勤,张元冲(西安交通大学机械结构强度与振动国家重点实验室,陕西 西安 710049)摘要:概述了微尺度热传导理论的几种模型及其求解方法。以金属薄膜的短脉冲激光加热为例,分析了固体材料在微尺度条件下的热响应特征,主要包括短脉冲激光加热条件下金属薄膜中的热平衡时间、薄膜中热传递的波动性特征和微尺度条件下热传递的尺寸效应;同时讨论了对流热损失对金属薄膜热行为的影响。 1引言微机电技术、微机电系统结构和纳米结构在近10年中都取得了巨大的进展并展现出广阔的应用前景,同时与此相关的各个基础领域的研究也引起了人们的极大关注。微尺度条件下热传导理论的研究,就是这些研究领域的一个重要分支。目