IH工艺的发展及应用

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孔祥东,张玉林,尹明(山东大学控制学院电子束研究所,山东济南 250061)摘要:介绍了IH系列立体光刻技术。使用该系列技术可以加工出具有高深宽比和复杂曲面的各种微结构,可以容易地加工出微可动部件、电子聚合物组合结构和不同聚合物的全聚合物结构,能较好地满足MEMS发展的需要。最后指出这种方法目前存在的缺陷。关键词:IH工艺;立体光刻;抗蚀剂中图分类号:TN305.7 文献标识码:A 文章编号:1671-4776(2003)11-0034-061引言随着微机电系统在各个领域的广泛使用,需要精确产生复杂曲面和各种形状微结构的加工方法。目前用于微尺寸加工的主要技术为基于IC工艺的平面硅工艺和立体

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光缆结构及工艺的发展

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2019-04-07 18:16

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射频识别(Radio Frequency Identification,RFID)技术起源于第二次世界大战,使用射频电波识别敌机和友机。RFID技术利用无线射频方式进行非接触式双向通信交换数据以达到自

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CMM CMMI的发展及应用

摘要:本文对CMM/CMMI的发展情况、管理思想背景、在软件过程改进中的作用、基本内容和评估方法作了简要介绍;同时也简单介绍和分析了我国软件能力评估标准的制定和实施情况。1.CMM/CMMI的发展为了

2021-02-09 18:10

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2019-09-09 03:43

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