我国人工晶体生长设备的发展与展望

西安理工大学 李留臣 薛抗美 扬润 02-8-19 10:14:56 《国际电子设备》摘要:本文回顾了我国人工晶体生长设备的发展历史,展望了人工晶体生长设备的发展前景。关键词:晶体生长设备 单晶炉 我国人工晶体材料工业经过半个多世纪的发展,在广大科技工作者的共同努力下,取得了巨大的成就,已具有较高的技术水平和较大的生产能力,而为之配套服务的晶体生长设备—单晶炉也随之得到了飞速的发展。在40多年的发展过程中,紧跟国际先进技术,使我国的晶体生长设备从无到有、从小到大、从单一品种到多品种系列化,一步一个脚印地发展壮大起来。一、人工晶体生长设备的历史回顾(一)半导体硅材料生长设备 1961年,在中国科