基于短相干光源的动态干涉测量系统

为了在共光路的干涉仪上实现同步移相,达到干涉测量抗震的目的,设计了一种新的同步移相抗震方案并搭建了实验装置。通过改变半导体激光器的注入电流,改变其相干长度,作为短相干光源,利用光源的相干性,结合偏振延迟装置,分开了参考光和测试光形成一对正交偏振光。同步移相系统由二维正交光栅和偏振片组构成,两个±1级衍射光通过透振方向依次相差45°的偏振片组合,在一个CCD上同时得到4幅互有90°相移的移相干涉图。按照传统的四步法,复原待测波面。测试了一个平行平板样品,结果PV为0.068 λ,RMS为0.013 λ(λ=650 nm)。同一被测件用Zygo干涉仪测量结果PV为0.063 λ,RMS为0.012