连续太赫兹反射式共焦扫描显微成像特性分析

太赫兹反射式共焦扫描显微成像系统分辨率较高且可呈现物体三维像,因此具有很大的应用价值。针对一种连续太赫兹反射式共焦扫描显微成像实验光路,在所确定的系统参数条件下,计算分析了两种太赫兹波长( 118.83 μm 和184.31 μm )的系统轴向响应特性。仿真结果表明,所设计的波长118.83 μm 的成像实验装置横向分辨率可达0.23 mm,轴向分辨率约为4.27 mm;波长184.31 μm 的系统横向分辨率可达0.36 mm,轴向分辨率约为6.63 mm。探测器轴向偏移影响大于横向偏移影响。