连续波CO

上传:farsword 浏览: 31 推荐: 0 文件:PDF 大小:1.21MB 上传时间:2021-02-08 11:05:50 版权申诉
用150瓦连续波CO2激光束照射硅片,观察到了其氧化层错的消除现象,并对消除机理进行了探讨。
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