离子束溅射薄膜光学常数表征的光斑效应

利用离子束溅射沉积制备了光学薄膜。基于椭圆偏振测量技术, 研究了折射率、膜层厚度和表面层厚度与测试光斑大小的关系。研究结果表明, 随着样品表面测试光斑尺寸的增加, 薄膜折射率变小, 膜层厚度、表面层厚度增加。使用反射光谱法和轮廓仪分别验证了各光学常数的光斑效应。研究结果表明, 光学薄膜的折射率与膜层厚度具有弱横向非均匀性, 采用大尺寸测量光斑能弱化这种非均匀性。