采用频域滤波提高数字相位测量轮廓术的测量精度

提出了一种采用频域滤波优化条纹来提高数字相位测量轮廓术(PMP)的测量精度的方法。由于数字投影仪和CCD的数字化特征,CCD获取的正弦条纹会出现多次谐波。而相位测量轮廓术的某些算法对高次谐波敏感使得测量精度低。通过设计滤波器对条纹在频域内进行滤波,对条纹的正弦性进行优化,减弱高次谐波对算法的影响,可以提高系统的测量精度。实验证明,所提出的方法将系统的测量精度提高了3倍,滤波操作完全由计算机自动完成。