光刻物镜压力双膜片轴向调节机构优化设计

针对光刻物镜对镜片间隔调节精度高、范围大的需求,提出一种利用气体压差提供驱动力的压力双膜片轴向调节机构。并对该轴向调节机构的不同膜片宽度、厚度以及凸台宽度进行优化分析,在特定压力范围内得到调节机构的优化尺寸参数,分析调节机构在优化后的固有频率。同时分析在轴向调节过程中引入的镜片面形误差,得到镜片面形的Zernike系数。结果表明该压力双膜片轴向调节机构的镜片面形误差主要为power项和球差项,面形峰谷(PV)值优于13.45 nm,均方根(RMS)值优于2.851 nm,满足光刻物镜对调节机构镜片面形的要求。