小周期二元光学元件的矢量分析

上传:isyezhongzhong 浏览: 10 推荐: 0 文件:PDF 大小:1.31MB 上传时间:2021-02-21 15:59:21 版权申诉
详细地介绍了一种可用于分析大口径大视场二元光学系统的光栅矢量分析法BKK方法。 这种方法适用于光栅周期处于波长量级、 任意光栅轮廓及倾斜入射时的精确衍射效率计算。 给出了计算结果, 并与标量近似计算结果进行比较。
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