激光对光学薄膜损伤的热冲击效应

计算了薄膜在高功率脉冲激光作用下截面温度场和应力场分布。分析了热冲击在光学薄膜激光损伤中的作用, 并用调Q 1.06 μm脉冲激光对ZrO2单层膜损伤, 讨论了不同激光强度下薄膜截面温度场与应力场分布, 揭示了热冲击在ZrO2单层膜损伤中的机理和过程。