同步辐射光刻用的极紫外光源

上传：dream29492 浏览： 16 推荐： 0 文件：PDF 大小：578.49KB 上传时间：2021-02-25 16:12:20 版权申诉

讨论以极紫外(EUV,此处分别指13.5rm或11.3nm)为基础的下一代光刻用同步辐射作为光源的可能性.要求是:50W,2%带宽和这一带宽外功率最小.研究了三种选择,第一、二种用弯铁和波荡器辐射.结果证明牛津仪器公司和其他公司的早期工作:当发射过多的带外辐射时,光源带内功率不足.第三种是用500MeV直线加速器驱动的带有超导微型波荡器的自由电子激光器(FEL).这种装置能产生带内极紫外功率超过50W,带外功率可忽略.