光源编码的白光散斑剪切干涉计量术

上传：einfachnurweg 浏览： 10 推荐： 0 文件：PDF 大小：2.29MB 上传时间：2021-03-01 17:48:17 版权申诉

本文提出了一种用非相干光源照明进行剪切干涉计量的方法—光源编码的白光散斑剪切干涉计量术.它采用光栅对光源进行编码以提高空间相干性,使物体的两个剪切像的波面部分相干叠加,以实现剪切干涉.