MEMS国内外发展状况以及发展战略的思考

针对国际MEMS发展趋势和未来的产业化前景,结合我国社会经济发展的需要和国家竞争前的核心技术发展战 略,以支撑我国MEMS产业化发展的应用基础为切入点,掌握MEMS材料、设计、制造、检测、工艺、装备与 系统集成等方面的具有自主知识产权的关键技术,建立我国的MEMS研发体系和产业化基地,围绕医疗、消费 电子、家电等行业,开发出若干小批量、多品种、高质量MEMS器件及微系统,推动MEMS的可持续发展和未 来产业化的形成打下良好的基础。