菲涅耳微透镜列阵衍射效率的测试

提出了一种测试菲涅耳微透镜列阵衍射效率的有效方法,采用He-Ne激光器作为测试光源,利用计算机辅助测试构成了一个衍射效率测试光路系统,对测试原理进行了分析,该方法具有简便易行的特点,适于测试具有微小单元尺寸、周期密排的二元微光学元件的衍射效率。