基于低速面阵CCD的正弦相位调制干涉测量

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正弦相位调制(SPM)干涉测量技术用于表面形貌测量时, 需要帧速高于300 frame/s的图像传感器, 同时要求调制信号频率与图像传感器帧速成确定的整数倍关系。提出一种基于低速CCD(30 frame/s)的帧速可调的高速图像传感技术, 通过控制每帧像素总数提高CCD帧速, 研制出一种高帧速图像传感器, 帧速可达300~1600 frame/s, 且每帧大小连续可调。将该CCD传感器用于正弦相位调制干涉泰曼-格林干涉仪, 测量镀膜玻璃板表面形貌, 当CCD图像传感器的帧速与调制信号频率呈16, 8, 4倍的关系时, 得到玻璃板表面形貌的轮廓平均算术偏差Ra小于1.8 nm, 重复精度优于3

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2021-02-19 22:35

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2021-05-09 10:54

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2021-04-23 16:04

正弦相位调制型激光自混合干涉仪的实时位移测量技术

采用正弦相位调制技术与时域解调相位方法相结合,提高激光自混合干涉仪在大量程位移测量中实时测量的准确度和速度。通过在激光器外腔中放置的电光晶体调制器对光束进行正弦相位调制,采用时域解调相位方法解调干涉信

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正弦相位调制自混合干涉大范围位移测量精度测试与分析

介绍了正弦相位调制型激光自混合干涉仪位移测量原理、光路搭建和信号处理方法。正弦相位调制由外腔中的电光晶体引入,调制后的自混合干涉信号采用傅里叶分析的方法完成相位解调。这项技术已经应用于纳米精度微位移测

2021-02-09 20:58

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研制了用单片机系统拾取线阵CCD信号的装置,从而实现了对5～25mm内的线径尺寸的非接触测

2019-05-06 11:49

消除光强调制影响的双波长正弦相位调制干涉仪

在双波长半导体激光(LD)正弦相位调制(SPM)干涉仪中,通过注入电流调制LD波长的同时,光源的输出光强也被调制,影响了测量精度。提出了一种新的双波长LD SPM干涉仪,通过对干涉信号进行处理,得到与

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消除正弦相位调制干涉仪中光强调制影响的全光纤干涉仪

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2021-02-22 19:03

减小正弦相位调制菲佐干涉仪多光束干涉影响的方法

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基于面阵CCD的赛道检测方案

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在当今国内工业中对尺寸的测量大多还是采用千分尺等落后的接触式的方法，不但效率不高而且精确度不高。本文讨论了线阵CCD用于尺寸测量的非常有效的非接触检测技术。本测量系统是以89C2051、TCD1206

2020-05-15 18:31

基于线阵CCD扫描的测量技术

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