准分子脉冲激光沉积法制备的ZrO

上传：zhanzerong 浏览： 7 推荐： 0 文件：PDF 大小：769.5KB 上传时间：2021-04-06 00:14:10 版权申诉

采用准分子脉冲激光沉积法(PLD)分别在Pt/Ti/SiO2/Si和SiO2/Si衬底上制备了ZrO2薄膜,采用扩展电阻法(SRP)研究了薄膜纵向电阻分布;采用X射线衍射法(XRD)研究了衬底温度对ZrO2薄膜结晶性能的影响;精确测试了薄膜的表面粗糙度;讨论了薄膜结晶性能与其电学I-V特性之间的关系。