硅光波导的束传播法设计及制备

上传：chenzijing 浏览： 14 推荐： 0 文件：PDF 大小：1.5MB 上传时间：2021-04-06 18:12:02 版权申诉

报道用束传播法(Propagating beam method)模拟设计、指导硅大断面单模脊形光波导的制备工艺。应用傅里叶交换法计算了硅光波导中导模的传播常数。对实际研制成功的SIMOX及Si/GexSi1-x/Si单模脊形光波导,比较了其性能差异并给予理论解释。