Fabrication and characterization of germanium on silicon photodiodes.pdf.pdf

上传:时光机 浏览: 9 推荐: 0 文件:PDF 大小:23.88MB 上传时间:2021-04-16 17:42:45 版权申诉
论文详细的介绍了硅光芯片的概况,包括调节器,MOD ,VOA等,光电二极管,芯片的设计,制作流程等。值得参考学习
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