用激光进行超精密测量

上传：donweidwdw 浏览： 16 推荐： 0 文件：PDF 大小：602.01KB 上传时间：2021-04-22 01:52:57 版权申诉

据日立中心研究实验室报告,用激光可以测量小到0.0001微米的尺寸差,测量装置比现有系统更小、耗电更省。