高强度激光薄膜的制备技术

上传:dream_on_sky 浏览: 15 推荐: 0 文件:PDF 大小:1.29MB 上传时间:2021-04-23 16:29:21 版权申诉
激光薄膜的制备技术是日本东洋大学教授村山洋一的一项研究成果,它用了高频离子溅射技术和新的拋光技术,前者能够镀制致密,坚硬的优质薄膜,后者能减小玻璃基板表面的粗糙度,从而大大提高薄膜的抗激光损伤能力。
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